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5噸/小時(shí)超純水系統
設備型號:5噸/小時(shí)超純水設備
項目地址:浙江嘉善
設計指標:終端電阻率≥18MΩ·CM,其余指標滿(mǎn)足GB/T 11446.1-2003電子級水******標準
設備用途:半導體級材料清洗
投產(chǎn)日期:2020年3月
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